稀土金属及合金靶材是采用先进的制备工艺和设备制备技术的关键材料,用于制备各领域高端材料。 单一稀土金属靶材包括铈、钇、铽等,这些稀土金属靶材广泛应用于光学薄膜、磁性材料、传感器等领域。 稀土合金靶材是由稀土金属与其他金属元素(如锰、镁、铝、镍等)形成的合金靶材,如镧锰合金、镱铝合金等。通常具有特定的物理、化学性质,常用于磁性材料、半导体器件、光学涂层等领域。
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